In der Solarzellenherstellung sind thermische Prozesse, essenziell. Die Prozessqualität wird dabei maßgeblich durch die Temperatur und deren zeitlichen Verlauf bestimmt. Daher spielt die genaue Regelung bzw. Kontrolle der Temperatur eine entscheidende Rolle, um eine hohe Prozessqualität zu erreichen. In Industrieöfen werden dazu häufig Infrarotstrahler (IR)-Strahler als Wärmequellen eingesetzt. Hierbei dient ein Großteil der Leistung zur Erwärmung der Kammerwände und der Prozessatmosphäre. Dabei werden die erreichbaren Heiz- und Kühlraten bei einem ruhenden Substrat, neben der Bestrahlungsstärke der IR-Strahler, hauptsächlich durch die thermische Masse der zu erwärmenden Prozesskammer bestimmt. Diese weist typischerweise eine hohe thermische Masse auf, wodurch nur langsame Temperaturänderungen möglich sind. Eine vollflächige Laserbestrahlung stellt eine alternative Energie- bzw. Wärmequelle zu den IR-Strahlern dar. Die Erwärmung des Zielsubstrats erfolgt dabei ausschließlich durch Absorption der Laserenergie. Dies führt zu einer selektiven Erwärmung des Substrats. Die Heiz- und Kühlraten werden im Wesentlichen von der thermischen Masse des Zielsubstrats und dessen optischen Eigenschaften bestimmt. Dies ermöglicht beispielsweise eine Erwärmung eines Siliziumkarbid (SiC)-Substrats auf 1700 K mit Heizraten von 600 K/s, bei einer Prozessierung unter Luftatmosphäre und bei Raumtemperatur. Zudem ermöglicht die direkte Einkopplung der Bestrahlungsenergie ins Zielsubstrat eine komplexe Temperaturführung.