Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISEDie Oberflächenbeschaffenheit einer Solarzelle beeinflusst maßgeblich deren Effizienzpotential. Daher arbeiten wir an unterschiedlichen Methoden und Technologien zur Konditionierung und Passivierung sowie der Optimierung des Lichteinfangs von Silicium-Solarzellen. Schwerpunkte unserer Arbeit bilden u.a.:
Beschichtung:
- Ein- und mehrlagige Anti-Reflexionsschichten
- Dotierstoffprecursoren und Multifunktionsschichten
- Passivierungsschichten und –schichtsysteme (u.a. SiN x , SiO x , SiC x , Al 2 O 3 )
- Barriereschichten
Trockenchemisches Ätzen:
- Texturierung (Fluorchemie, HCl)
- Prozesse zum Konditionieren vor Passivierung sowie zur Emitteroptimierung und -entfernung
- Strukturierung
- Selektives Entfernen von dielektrischen Schichten