Die Oberflächenbeschaffenheit einer Solarzelle beeinflusst maßgeblich deren Effizienzpotential. Daher arbeiten wir an unterschiedlichen Methoden und Technologien zur Konditionierung und Passivierung sowie der Optimierung des Lichteinfangs von Silicium-Solarzellen. Schwerpunkte unserer Arbeit bilden u.a.:
Beschichtung:
- Ein- und mehrlagige Anti-Reflexionsschichten
- Dotierstoffprecursoren und Multifunktionsschichten
- Passivierungsschichten und –schichtsysteme (u.a. SiN x , SiO x , SiC x , Al 2 O 3 )
- Barriereschichten
Trockenchemisches Ätzen:
- Texturierung (Fluorchemie, HCl)
- Prozesse zum Konditionieren vor Passivierung sowie zur Emitteroptimierung und -entfernung
- Strukturierung
- Selektives Entfernen von dielektrischen Schichten