Mikrostrukturierte Oberflächen

Hexagonales Muster einer Periode von 8 µm in einem Positiv-Photoresist nach der Interferenzlithographie. Diese Struktur wird als Master verwendet.

Oberflächen: Konditionierung, Passivierung, Lichteinfang

Die Oberflächenbeschaffenheit einer Solarzelle beeinflusst maßgeblich deren Effizienzpotential. Daher arbeiten wir an unterschiedlichen Methoden und Technologien zur Konditionierung und Passivierung sowie der Optimierung des Lichteinfangs von Silicium-Solarzellen. Schwerpunkte unserer Arbeit bilden u.a.:

Beschichtung:

  • Ein- und mehrlagige Anti-Reflexionsschichten
  • Dotierstoffprecursoren und Multifunktionsschichten
  • Passivierungsschichten und –schichtsysteme (u.a. SiN x , SiO x , SiC x , Al 2 O 3 )
  • Barriereschichten


Trockenchemisches Ätzen:

  • Texturierung (Fluorchemie, HCl)
  • Prozesse zum Konditionieren vor Passivierung sowie zur Emitteroptimierung und -entfernung
  • Strukturierung
  • Selektives Entfernen von dielektrischen Schichten

 

 

 

 

Ausgewählte Forschungsprojekte

 

MASSE

Massenfertigungstaugliche Vefahren für die Herstellung von monokristallinen Solarzellen mit 20% Wirkungsgrad

 

 

Aktuelle Veröffentlichungen zum Thema Oberflächen: Konditionierung, Passivierung, Lichteinfang:

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