Diffusionsrohrofen im PV-TEC am Fraunhofer ISE

Die mit 156-er multikristallinen Wafern beladenen Quarzboote fahren mittels des sogenannten Paddles in das jeweils geöffnete Diffusionsofenrohr. In dem Quarzrohr wird das Quarzboot sanft abgesetzt und das Paddle wieder herausgefahren. Dann schließt sich die Rohrofenklappe und die Diffusion der Wafer kann beginnen.

Dotierung und Diffusion

FuE-Leistungen

Im Thema Dotierung und Diffusion bieten wir folgende Forschungs- und Entwicklungsleistungen

Service-Prozessierung nach Kundenwunsch

Entwicklung

von kundenspezifischen Dotierprozessen und Evaluierung von Dotiermedien

Prozessintegration

neuartiger Dotiertechniken in bestehende Prozesssequenzen zur Herstellung von Hocheffizienz-Solarzellen unter Verwendung von Reinraumtechnologie bzw. großflächiger, industrieller Solarzellen mittels Produktionstechnologien

Charakterisierung

von Dotierungen in Bezug auf Dotierprofil, Ladungsträgerprofil, Rekombinations­eigenschaften und spezifischen Kontaktwiderstand zur Metallisierung

Solarzellen benötigen unterschiedlich dotierte Bereiche, z. B. den pn-Übergang oder »high-low junctions«, die unterschiedliche Funktionen erfüllen. Für die Realisierung dieser ganzflächig oder lokal ausgeführten Dotierungen stehen am Fraunhofer ISE verschiedene Methoden zur Verfügung. Neben der in der Photovoltaik etablierten Methode der Rohrofendiffusion, stehen weitere Methoden zur Verfügung

  • Diffusion aus abgeschiedenen/gedruckten und ggf. strukturierten Schichten im Rohrofen und im Durchlaufverfahren
  • Laserdiffusion aus abgeschiedenen/gedruckten Schichten sowie aus der Flüssigphase, sowie Lasertransferdotieren
  • Ionenimplantation inkl. Ausheilen


Ziel der Entwicklungen ist es, für die Vielzahl der unterschiedlichen Solarzellenkonzepte ideale und maßgeschneiderte Lösungen zur Realisierung dotierter Bereiche zu entwickeln. Hierbei liegt die Anforderung insbesondere darin sowohl physikalisch perfekte Dotierungen zu erzeugen (Metall-Halbleiter Kontakt, Minimierung der Rekombination, Strukturgröße etc.) als auch Methoden einzusetzen, die zum einen kostengünstig und zum anderen mit dem für die Produktion geforderten Durchsatz realisierbar sind.

 

Aktuelle Veröffentlichungen zum Thema Dotierung und Diffusion:

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